Полное описание

Алексович, М. М. Расчет и эксплуатация рециркуляционных контуров чистых производственных помещений : материалы к 3-й науч.-техн. конф. "Экология микроэлектроники-90" / М.М.Алексович,В.И.Каракеян,А.С.Рябышенков;Под ред. Ушакова В. И. - М. : [б. и.], 1990. - 76 с. : ил. - 360 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 75 (5 назв.)

ГРНТИ	УДК
67.53.25	697.9

Рубрики:
Стерильные помещения

Кл.слова (ненормированные): СТЕРИЛЬНОЕ ПОМЕЩЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Каракеян, В.И.
Рябышенков, А.С.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-90/74871)

Шифр в сводном ЭК: 216d1dc33e75f1f39f1d1ad1a369b663

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽