Полное описание

Полтавцев, Ю. Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев. - Киев : Тэхника, 1990. - 206 c. : ил. - 4000 экз. - ISBN 5-335-00572-6. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 197-204 (127 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Князев, А.С.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-90/69980)

Шифр в сводном ЭК: 1f51ab2b49da980d034e110a97889101

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽