Полное описание
> Угаров, М. В. Лазерное осаждение пленок нитридов бора и углерода из газовой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.21 / М. В. Угаров. - М., 1999. - 23 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Рос.АН. Центр естественно-науч. исследований Ин-та обющей физики. Библиогр.:с. 22-23(11 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
31.17.15 | 546.27'171.1.03:539.216.2(043) | |
546.26.03:539.216.2(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-284)>
Шифр в сводном ЭК: 1e45a597eefc8408c82abecf6900c5fc
Заказ фрагмента документа ₽