Полное описание

Ануфриева, И. В. Исследование и разработка комплекса безмасляных средств форвакуумной откачки для оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / И. В. Ануфриева. - М., 2004. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (9 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.09	621.385.032.94(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-14868)

Шифр в сводном ЭК: 1916ece9422fb120f8ce47bf7bcdad32

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽