Полное описание

Шагаров, Б. А. Исследование и разработка процессов термообработки полупроводниковых материалов для специального применения : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / Б. А. Шагаров. - М., 2000. - 21 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 21(7 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13	621.315.592.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-6555)

Шифр в сводном ЭК: 18a8f54bc49f3409959a9effa5c118fe

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽