Полное описание

Голишников, А. А.
Вакуумные плазменные технологии в производстве СБИС : учеб. пособие / А. А. Голишников, М. Г. Путря. - М. : МИЭТ, 2010 - . - В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - Текст : непосредственный.
Ч. 1 : Получение и измерение вакуума. Основные понятия физики плазмы. - 2010. - 163 с. : ил. - Библиогр.: с. 159-160 (23 назв.). - 150 экз. - ISBN 978-5-7256-0607-2

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14-047.84

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Производство
Вакуумная техника

Доп. точки доступа:
Путря, М.Г.

Имеются экземпляры в отделах: всего -20110417 : ХРЦ (-20110417)
Свободны: ХРЦ (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/66477/1)

Шифр в сводном ЭК: 1821f2ca66930fbb466d4492450dd699

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽