Полное описание
> Karthaus, J. Galvanische Abscheidung von Metallen aus nichtwassrigen Elektrolyten fur die Mikrosystemtechnik : Diss. / J.Karthaus,K.Bade,W.Bacher. - Karlsruhe : [s. n.], 2000. - VIII,121 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA ; 6455). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.116-121
ГРНТИ | УДК | |
55.22.19 | 621.357.7(043) | |
47.13.11 | 621.3.049.76-047.84:621.793(043) |
Рубрики:
Гальваностегия
Микроэлектронные приборы -- Металлизация
Кл.слова (ненормированные): ГАЛЬВАНОСТЕГИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Bade, K.
Bacher, W.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/6455)>
Шифр в сводном ЭК: 1602e8c3c9718556fafb50ce441aac67
Заказ фрагмента документа ₽