Полное описание

Wiebach, S. Ionenimplantation zur Synthese von B(beta)-SiC-Schichten und zur Dotierung polykristalliner CVD-Diamantschichten : Diss. / S.Wiebach. - Stuttgart, 1995. - 145 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.138-145

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Рубрики:
Кремний, карбиды, пленки -- Производство
Алмазные пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): АЛМАЗНАЯ ПЛЕНКА -- КРЕМНИЙ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/19378)

Шифр в сводном ЭК: 1597a7a84f2ac6865eaf872c2bf5ab89

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽