Полное описание
> Harmening, M. Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit grosser Strukturhohe aus elektrisch isolierenden und leitfahigen Kunststoffen / M.Harmening,W.Ehrfeld. - Karlsruhe : [s. n.], 1990. - 112 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK, ISSN 0303-4003 ; N4711). - Текст : непосредственный.
Рез. англ. Библиогр.: с.109-112
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.76.002 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Ehrfeld, W.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/333/4711)>
Шифр в сводном ЭК: 15540725daf4c70894d2ab5f7aa121cc
Заказ фрагмента документа ₽