Полное описание
> Micro-nano technology XIII : материалы временных коллективов / Annual conference of Chinese society of micro-nano technology (13 ; 2011 ; Changchow) ; Ed. X. Wang. - Stafa-Zurich : Trans tech publ., 2012. - on-line. - (Key engineering materials, ISSN 1662-9795 ; vol. 503). - URL: https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.503. - Загл. с экрана. - ISBN 978-3-03813-689-7. - Текст : электронный.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.76-047.84(063) | |
81.13.30 | 620.3(063) |
Кл.слова (ненормированные): КОНФЕРЕНЦИИ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- НАНОТЕХНОЛОГИИ -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Wang, X.\ed.\
Annual conference of Chinese society of micro-nano technology (13 ; 2011 ; Changchow)
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.503
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): ?-679587488)>
Шифр в сводном ЭК: 1521a926cc8e1314538d9ccc0621d2bb
Заказ фрагмента документа ₽
Просмотр издания