Полное описание

Реутов, В. Ф. ПЭМ-изучение в геометрии "Cross-Section" структурных изменений в кремнии в результате последовательного облучения ионами N + He и Ar +He / В.Ф.Реутов,А.С.Сохацкий. - Дубна : [б. и.], 1997. - 10 с. : ил. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Р14-97-216). - 300 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669.046.516(04)

Рубрики:
Ионное внедрение

Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Сохацкий, А.С.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/2509/Р14-97-216)

Шифр в сводном ЭК: 109766a212667aea2f74eb66e2b5e3ba

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽