Полное описание

Цыганов, Д. Л. Осаждение углеродных и алмазоподобных пленок при помощи плазменных струй : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 01.04.14 / Д. Л. Цыганов. - М., 2005. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.22.23	549.211:539.216.2(043)
	661.666-416(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар05-3466)

Шифр в сводном ЭК: 1060b4acbe623ffe5ad68d3bd84f88d4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽