Полное описание

Nd laser fifth harmonic interaction with polymer films / A.A.Babin,N.M.Bityurin,A.V.Polyakov и др. - Nizhny Novgorod : [s. n.], 1992. - 18 p. - (Препринт / Институт прикладной физики (Нижний Новгород) ; 313). - Текст : непосредственный.
Bibliogr.: p. 16-18 (23 nazv.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776(04)

Рубрики:
Фотолитография

Кл.слова (ненормированные): ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа:
Babin, A.A.
Bityurin, N.M.
Polyakov, A.V.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/13643/313)

Шифр в сводном ЭК: 0eabd62b8dd9e5b501d354aff09a02ba

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽