Полное описание

Путря, М. Г. Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / М. Г. Путря. - М., 2002. - 53 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 43-53(63 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-9119)

Шифр в сводном ЭК: 0db8b62f16fb6c4eea4402397841f5ce

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽