Полное описание

Математическое моделирование технологических процессов микроэлектроники : учебное пособие / В. Г. Косушкин, Л. В. Кожитов, С. Г. Емельянов [и др.] ; Минобрнауки России, Юго-Западный государственный университет [и др.]. - Курск : Юго-Западный гос. ун-т, 2022. - 202 с. : ил. - Авт. указаны на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 189-190 (7 назв.). - 1000 экз. - ISBN 978-5-7681-1598-2. - Текст (визуальный) : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84-047.58

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Моделирование

Кл.слова (ненормированные): ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- КРЕМНИЙ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПРОЦЕССЫ
Аннотация: Учебное пособие соответствует Федеральному государственному образовательному стандарту высшего образования по направлениям бакалавриата 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств" и магистратуры 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника". Рассмотрены математические модели основных технологических процессов электронной технологии - ионной имплантации, диффузии, термического окисления и эпитаксии.
Доп. точки доступа:
Косушкин, Виктор Григорьевич
Кожитов, Лев Васильевич
Емельянов, Сергей Геннадьевич
Ряполов, П.А.
Попкова, А.В.
Юго-Западный государственный университет (Курск)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-22/11709)

Шифр в сводном ЭК: 0aa9c9da905401468360b4f514df4357

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽