• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern / A.Michel,R.Ruprecht,M.Harmening,W.Bacher. - Karlsruhe : [s. n.], 1993. - 84 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK ; N5171). - Текст : непосредственный.
    Рез.англ.Библиогр.: c.79-82

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
    Доп. точки доступа:
    Michel, A.
    Ruprecht, R.
    Harmening, M.
    Bacher, W.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/333/5171)

    Шифр в сводном ЭК: 05dbca9df83028a0713215638e50b862



    Заказ фрагмента документа ₽