Полное описание

Сигалов, Э. Б. Принципиальные основы создания оборудования для производства эпитаксиальных структур кремния в газофазных процессах : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / Э. Б. Сигалов. - М., 1990. - 36 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 31-36(83 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.9.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР90-016984)

Шифр в сводном ЭК: 0468bda6098dc2127923e28f922c799a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽