Полное описание
> Фортинский, Ю. К. Информационная система управления кремниевой мастерской / Ю. К. Фортинский, В. Е. Межов, Ю. С. Сербулов. - Воронеж : Воронеж. гос. ун-т, 2006 (Воронеж). - 170 с. - Библиогр.: с. 156-170 (154 назв.). - 1000 экз. - ISBN 5-9273-0998-4. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.382.002.5-52 |
Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство -- Автоматизация
Доп. точки доступа:
Межов, В.Е.
Сербулов, Ю.С.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-06/24402)>
Шифр в сводном ЭК: 02490fd16a8339043ef43e7701cdda9c
Заказ фрагмента документа ₽