Springer series in materials science / ed. R. Hull [et al.]. 109 : Reactive sputter deposition / ed.: D. Depla, S. Mahieu, 2008. - XVIII, 570 p. - Текст : непосредственный.
Reactive sputter deposition / SpringerLink (Online service), 2008 r=on-line. - Текст : электронный.