Шипилова О.И. Ионные и плазменные источники для создания модифицированных слоев в диэлектриках : специальность 01.04.08 - физика плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Шипилова Ольга Ивановна, 2019. - 22 с. - Текст : непосредственный.