Шагаров Б.А. Исследование и разработка процессов термообработки полупроводниковых материалов для специального применения : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / Б. А. Шагаров, 2000. - 21 с. - Текст : непосредственный.