Чухрев И.В. Повышение оперативности управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП-ИС : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / И. В. Чухрев, 2002. - 16 с. - Текст : непосредственный.