Чистоедова И.А. Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.17.11 / И. А. Чистоедова, 2005. - 19 с. - Текст : непосредственный.
Данилина Т. И. Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники : Учебное пособие / Данилина Т. И., 2011. - 96 с. - Текст : электронный.