Хидиров М.С. Разработка плазмохимических методов получения полупроводниковых карбидных и нитридных пленок и порошков : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 02.00.04 / М. С. Хидиров, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.