Зиновьев Д.В. Кремниевые структуры для приборов микроэлектроники : учеб. пособие по курсу "Технология микроэлектроники" / Д. В. Зиновьев, В. М. Андреев, К. А. Тузовский, 2006. - 64 с. - Текст : непосредственный.