Табулин А.И. Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / А. И. Табулин, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.