Спектор В.С. Оптимизация технологии вакуумной ионно-плазменной обработки поверхностей деталей авиационной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.16.06 / В. С. Спектор, 2005. - 23 с. - Текст : непосредственный.
Вакуумная ионно-плазменная обработка : учеб. пособие / А. А. Ильин [и др.]. Ч. 1 : Формирование потоков газовой и металлической плазмы, их распределение в рабочем объеме камер вакуумных установок и формирование структур в поверхностных слоях конденсата металлической плазмы, 2009. - 62 с. - Текст : непосредственный.
Вакуумная ионно-плазменная обработка : учеб. пособие / А. А. Ильин [и др.], 2014. - 157 с. - Текст : непосредственный.