Сигалов Э.Б. Принципиальные основы создания оборудования для производства эпитаксиальных структур кремния в газофазных процессах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / Э. Б. Сигалов, 1990. - 36 с. - Текст : непосредственный.