Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 5(1519) : Низкотемпературное нанесение пленок нитридов кремния и алюминия реактивным распылением в вакууме : По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1979-1989 гг. / Л.А.Сейдман, 1990. - 52 с. - Текст : непосредственный.
Берлин Е.В. Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения / Е. В. Берлин, В. Ю. Григорьев, Л. А. Сейдман, 2018. - 461 с. - Текст : непосредственный.
Берлин Е.В. Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталей / Е. В. Берлин, Н. Н. Коваль, Л. А. Сейдман; отв. ред. Ю. Ф. Иванов, 2012. - 462 с. - Текст : электронный.
Берлин Е.В. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман, 2014. - 255 с. - Текст : электронный.
Приложение
для Android