Пауткин В.Е. Разработка технологии формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.11.14 / В. Е. Пауткин, 2014. - 22 с. - Текст : непосредственный.