Обвинцев О.А. Повышение качества поверхности полупроводникового кремния при лезвийной обработке с помощью дополнительного деформирования срезаемого слоя : специальность 05.03.01 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / О. А. Обвинцев, 1999. - 20 с. - Текст : непосредственный.