Мозалев А.М. Исследование электрохимических и плазмохимических процессов обработки слоев алюминия,тантала и их анодных оксидов при создании планарной многоуровневой металлизации СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / А. М. Мозалев, 1992. - 18 с. - Текст : непосредственный.