Ляхов А.А. Моделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.02.05 / А. А. Ляхов, 2018. - 24 с. - Текст : непосредственный.