Дикевич А.Я. Разработка и исследование интегрального сорбционно-емкостного датчика для контроля относительной влажности в чистых технологических помещениях микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Я. Дикевич, 1997. - 19 с. - Текст : непосредственный.