Технология нанесения наноразмерных пленок на материалы с различными модулями упругости / О. И. Еремкин, Е. Ю. Гамлицкий, А. В. Гелиев, В. Н. Семенов. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 55-59