Бутаев А.Г. Разработка и исследование тестовых структур для контроля параметров полупроводниковых структур методом фотоответа : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Г. Бутаев, 1990. - 25 с. - Текст : непосредственный.