Наноразмерная ионно-лучевая полировка функциональных слоев микроэлектроники / А. А. Бизюков, И. А. Бизюков, А. И. Гирка [и др.]. - Текст : непосредственный // Вакуумная техника, материалы и технология : материалы VIII Междунар. науч.-техн. конф., 16 - 18 апр. 2013 г., Москва. - М. : Новелла, 2013. - с. 165-169