Ануров А.Е. Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Е. Ануров, 2017. - 20 с. - Текст : непосредственный.
Ануров А.Е. Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Е. Ануров, 2018. - 20 с. - Текст : непосредственный.