Алексович М.М. Расчет и эксплуатация рециркуляционных контуров чистых производственных помещений : Материалы к 3-й науч.-техн. конф. "Экология микроэлектроники-90" / М.М.Алексович,В.И.Каракеян,А.С.Рябышенков;Под ред. Ушакова В. И., 1990. - 76 с. - Текст : непосредственный.