Алексейчук А.В. Исследование процесса изготовления кантилевера с улучшенными характеристиками для сканирующей зондовой микроскопии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / А. В. Алексейчук, 2007. - 20 с. - Текст : непосредственный.