Модифицирование технологических процессов микронаноэлектроники с использованием ультразвукового воздействия / С. С. Кривоносов, Н. И. Мухуров, И. В. Гасенкова, С. П. Жвадый. - Текст : непосредственный // Успехи современной электротехнологии. - Саратов. - 2009. - с. 218-222