Полное описание

Хмеленин, Д. Н. Электронная микроскопия композиций на основе тонких пленок для микроэлектроники : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Д. Н. Хмеленин. - 2013. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (13 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.76:620.187(043)

Кл.слова (ненормированные): КОНТРОЛЬ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- УПРАВЛЕНИЕ КАЧЕСТВОМ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-16169)

Шифр в сводном ЭК: e5d076c2a3e1a75a05fd0c22dbc6d813

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽