Полное описание

Юшков, Ю. Г. Форвакуумный импульсный плазменный источник электронов для модификации поверхности диэлектрических материалов : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 01.04.20 / Ю. Г. Юшков. - 2012. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-17 (24 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
45.09.37	621.315.61-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ -- ОБРАБОТКА ПЛАЗМЕННАЯ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар12-23291)

Шифр в сводном ЭК: 1c8a19721ef2af8690c86f9b506f6e28

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽