Полное описание
> Современное состояние и прогресс в области технологии алмазных пленок / Ин-т сверхтвердых материалов. - 18 c. : ил. - Япон.яз. - Пер.ст. / Н. Сэтака из журн.: // Киндзоку хемэн гидзюцу. - 1987. - Vol. 38, N 6. - P. 251-256. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: 11 назв.
ГРНТИ 38.39.17
Рубрики:
Алмазные пленки
Кл.слова (ненормированные): АЛМАЗ -- АЛМАЗОПОДОБНЫЙ УГЛЕРОД -- ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- ПЛАЗМА
Доп. точки доступа:
Сэтака, Н.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 06921002390)>
Шифр в сводном ЭК: ff36b16ae46600f246ab4606a34dbda5
Заказ фрагмента документа ₽