Полное описание

Зотович, А. И. Деградация нанопористых диэлектриков в высокочастотной плазме и способы ее уменьшения : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.15 / А. И. Зотович ; Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова. - 2018. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22. - 60 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.31	621.315.61-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- МЕЖСЛОЙНЫЕ ИЗОЛЯТОРЫ -- ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПОРИСТЫЕ ДИЭЛЕКТРИКИ -- ЭЛЕКТРОННАЯ ОБРАБОТКА
Доп. точки доступа:
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар18-4485)

Шифр в сводном ЭК: fbb6ac07a6ce575cfff4b0e0efb395c2

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽