Полное описание

Vollkommer, F. Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten fur die Mikroelektronik : Diss. / F.Vollkommer. - J@:ulich, 1989. - 82 S. : Ill. - (Berichte / Kernforschungsanlage(Julich), ISSN 0366-0885 ; N2321). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.79-81

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77.004.6(043)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Повреждения

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/2657/2321)

Шифр в сводном ЭК: f311fa9b2837ad2f9aa40f7054cce258

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽