Полное описание

Феклистов, К. В. Преципитация бора в кремнии при имплантации и отжиге: расслоение на стадии оствальдовского созревания : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / К. В. Феклистов. - Новосибирск, 2011. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-18. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592:669.046.516(043)

Кл.слова (ненормированные): БОР -- КРЕМНИЙ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ -- ОТЖИГ -- РАССЛОЕНИЕ АНСАМБЛЯ ПРЕЦИПИТАТОВ
Аннотация: Развитие существующих представлений о самоорганизации имплантированного бора в кремнии, приводящей к формированию слоистого по глубине ансамбля преципитатов и построение модели расслоения.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар11-21103)

Шифр в сводном ЭК: f0dca7d5d97875db627198adfff371db

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽