• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Gonzalez Ruiz, P. Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors / P. Gonzalez Ruiz, K. De Meyer, A. Witvrouw. - Dordrecht : Springer, 2014. - on-line. - (Springer Series in Advanced Microelectronics, ISSN 1437-0387 ; vol. 44). - URL: https://link.springer.com/book/10.1007/978-94-007-6799-7#authorsandaffiliationsbook. - Загл. с экрана. - ISBN 978-94-007-6799-7. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    50.09.37681.586
    47.33621.315.592.9

    Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- КМОП-СТРУКТУРЫ -- КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
    Доп. точки доступа:
    Meyer, K. De
    Witvrouw, A.

    https://link.springer.com/book/10.1007/978-94-007-6799-7#authorsandaffiliationsbook


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): ???-779999/44)

    Шифр в сводном ЭК: edfe53da8980229219beab3cc9a91c3b



    Заказ фрагмента документа ₽

    Просмотр издания