Полное описание

Нечипоренко, А. П. Исследование и разработка процессов формирования проводящих пленок из ПГС, включающей галогениды металлов и водород, при пониженном давлении в реакционном объеме : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / А. П. Нечипоренко. - М., 1991. - 32 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 30-32(11 назв.)

ГРНТИ	УДК
50.13	004.38'1(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-05721)

Шифр в сводном ЭК: ec54e0b57b8362f947cf0431c943e8d7

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽