Полное описание

Niewohner, L. ITM-prozessierte CoSi2-Kontakte fur grossintegrierte CMOS-Schaltungen : Diss. / L.Niew@:ohner. - dusseldorf, 1991. - 112 S. : Ill. - (Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 9, Elektronik / Verein Dt.Ing. ; N122). - ISBN 3-18-142209-6. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.108-112

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002(043)

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Металлизация

Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/378/122)

Шифр в сводном ЭК: d8fe21ce29057a8d3e47a1d704eda940

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽